K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Elipsometry

Elipsometry

Elipsometrie se využívá pro měření vlastností tenkých vrstev a povrchů, pracuje s polarizovaným světlem, které se na zkoumaném povrchu odráží, čímž dochází ke změně jeho polarizace. Při elipsometrii se obecně měří hodnoty týkající se polarizovaného světla, tj. psi a delta a z naměřených dat se pak fitací na určitý model teprve získají materiálové charakteristiky jako tloušťka, index lomu, optická konstanta, ale i další údaje jako depolarizace, anisotropie, krystaličnost, rovnoměrnost či charakteristika přechodových rozhraní.

Námi dodávané systémy od firmy J. A. Woolam patří mezi světovou špičku.

Elipsometry jsou dostupné buďto jako kompaktní jednoúčelové přístroje s omezeným rozsahem a nebo jako univerzální modulární systémy, které mohou měnit úhel měření, lze s nimi skenovat v širokém spektrálním rozsahu (od UV až do NIR či IR), mají celou škálu přídavných možností a hodí se hlavně pro oblast výzkumu nových materiálů nebo pro studium vlastností při nestandardních podmínkách (vakuum, nízké či vysoké teploty atd.).

Jako zdroj světla je v elipsometrech použitý buď laditelný monochromatický zdroj světla (světelný zdroj v kombinaci s monochromátorem) a na výstupu pak jednoduchý Si případně InGaAs detektor pro pokrytí oblasti od UV do NIR oblasti, nebo je na vstupu klasický širokopásmový světelný zdroj (výbojová lampa či halogenová žárovka) a na výstupu pak CCD či InGaAs lineární detektor, kam se zaznamená celé spektrum v jednom okamžiku. Tento princip je vhodný i pro insitu měření, tj. on-line měření v průběhu procesu.

Základní parametry při výběru elipsometru

  • Jednoúčelový systém nebo modulární univerzální elipsometr
  • Požadovaný spektrální rozsah (závisí na měřených materiálech a aplikacích)
  • Jestli je potřeba měnit úhly
  • Jaký je požadavek na rychlost a přesnost
  • Jedná-li se o ex-situ, in-situ aplikaci či kombinaci

Rádi s výběrem vhodného typu pomůžeme, také můžeme nechat proměřit vzorky v německé aplikační laboratoři.