AFSEM pro korelativní mikroskopii

AFSEM™ od GETec umožňuje rozšíření možností vašeho skenovacího elektronového mikroskopu (SEM) o unikátní vlastnosti mikroskopie atomárních sil (AFM) s možností korelativní analýzy dat.

AFSEM™ je kompatibilní s většinou dostupných SEM a FIB/SEM systémů na trhu a je může tak snadno rozšířit schopnosti i Vašeho systému o mikroskopii atomárních sil. Díky unikátnímu designu nedochází k nežádoucímu rušení ostatních měřicích metod systému (např. FIB, FEBID, EDX), naopak systém s tímto rozšířením dokáže mimo jiné získat informaci o 3D struktuře vzorku.

Vlastnosti

  • Rozměry AFSEM™ skeneru: 41 x 110 x 77 mm³ (VxŠxH)
  • Hmotnost AFSEM™ skeneru: 500 g
  • Skenovací rozsah: 35 x 35 µm² pro x,y (uzavřená smyčka); 5 µm pro osu z
  • Vakuová kompatibilita: do 10-7 mbar
  • Různé měřicí módy
AFSEM pro korelativní mikroskopii
AFSEM pro korelativní mikroskopii AFSEM pro korelativní mikroskopii AFSEM pro korelativní mikroskopii AFSEM pro korelativní mikroskopii AFSEM pro korelativní mikroskopii
Quantum Design Europe - Logo
Quantum Design Europe

Aplikační oblasti:

Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Aplikace

Optická charakterizace nanostruktur

Optická charakterizace nanostruktur

Jako nanostruktury (kvantové tečky, nanokrystaly, nanovlákna, nanomembrány, nanotrubičky, …) jsou označovány objekty o r..

Parametry

AFSEM určený primárně pro integraci do SEM nabízí širokou škálu měřicích módů typických pro mikroskopii atomárních sil (AFM). Umožňuje tak jednoduše rozšířit stávající SEM mikroskop nejen o schopnosti AFM mikroskopu, ale především o korelativní analýzu dat získaných pomocí obou metod současně. Například se nabízí možnost statického i dynamického 3D zobrazování, měření fázového kontrastu, měření silové modulace, mapování vodivosti atd. Samozřejmostí je měření v kontaktním i AC módu.

   AFSEM 1.0 AFSEM nano 
Rozměry senzoru [mm] 110 x 77 x 41 70 x 58 x 30
Skenovací rozsah [um] 34 x 34 (closed loop) 25 x 25 (closed loop)
šum XY-skeneru < 0,3 nm (RMS) < 0,3 nm (RMS)
Skenovací rozsah v Z [um] 5 15
šum Z-skeneru ~80 pm ~80 pm
Rozsah XYZ posuvů [mm] 8 x 12 x 24 12 x 12 x 12
Minimální krok XYZ posuvů [nm] 50 30
Hmotnost senzoru [g] 500 70
Vakuová kompatibilita [mbar] 10-6 10-7

Dokumenty

AFSEM Brožura

Stáhnout Zobrazit

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

tel: +420 601 123 593
mail: schuster@optixs.cz