- Optixs
- Products
- Surface and thin layer measurement
- Optical profilometers
Optical profilometers
Subcategories and products for this section can be found below in Czech. If you need further information in English, don't hesitate to contact our product specialists.
Optical profilometers
Optické profiloměry a drsnoměry Zygo na bázi CSI (Coherent Scanning Interferometry) jsou systémy pro vysoce přesné, bezkontaktní 3D měření topografie povrchu materiálu a tenkých vrstev. Vertikální rozlišení (až sub-angströmové) je nezávislé na zorném poli.
Typické využití:
- Drsnoměr: bezkontaktní měření drsnosti povrchu (dle ISO 25178) po mechanickém opracování
- Profiloměr: zobrazení a precizní metrologie povrchového profilu v mikroměřítku
- Měření větších ploch: možnost sešívání (stitching) dat pro metrologii ve větším měřítku
- Měření výšky schodu (step-height)
- Metrologie optických povrchů
- Analýza topografických dat
ZeGage | NewView 9000 | Nexview NX2 | Nomad | |
Konfigurace | Stolní | Pracovní stanice | Pracovní stanice | Přenosný |
Opakovatelnost topografie povrchu | 0.15 nm | 0.08 nm | 0.06 nm | 0.12 nm |
Opakovatelnost RMS | 0.01 nm | 0.008 nm | 0.005 nm | 0.01 nm |
Maximální rychlost skenu v ose z | 73 µm/s + | 171 µm/s + | 171 µm/s + | 15 µm/s |
Zorné pole | až 9 mm | až 17,5 mm | až 17,5 mm | až 12 mm |
Dodatečný optický zoom | Ne | Ano | Ano | Ne |
Compass 2
Compass 2 pro komplexní, plně automatizovanou metrologii povrchu čoček a mikro-čoček.
See product site in Czech