Impedans
Firma Impedans se specializuje na výrobu produktů pro charakteristiku plazmového výboje. Systémy od Impedans
nacházejí své uplatnění v oblasti základního výzkumu, vývoje, designu přístrojů, kontroly procesů, detekce závad a
klasifikace (FDC), a to v mnoha odvětvích, od polovodičového průmyslu, vakuového potahování, při výrobě lékařských
přístrojů nebo v oblasti letectví a kosmonautiky.
www.impedans.com
Produkty
-
Sondy pro detekci RF frekvence, měření pracovního cyklu v reálném čase, měření průměrného
výkonu, napětí, proudu, impedance plasmového výboje i RF pulsní monitorování – např. sondy
Octiv
-
Sondy pro měření klíčových fyzikálních parametrů objemového plazmatu, jako je potenciál
plazmatu, hustota nabitých částic (elektrony & ionty) a elektronová teplota – toto vše
poukazuje na chování plazmatu při vlastním procesu, jako jsou depozice atd. – např.
Langmuir sondy, Plato
-
Sondy pro měření procesu na povrchu substrátu – měření toku iontů a funkce distribuce
energie iontů dopadajících na povrch v reálném čase pomocí imitovaného substrátu s
integrovanými senzory, případně i v kombinaci s integrovanou mikrovahou křemenného
krystalu (QCM), který se používá k měření funkce distribuce energie iontů a poměru iontově
neutrální depozice na povrchu uvnitř plazmového reaktoru – např. systémy Semion, Vertex či
Quantum
Využití
- polovodičový průmysl
- vakuové potahování
- výroba lékařských přístrojů
- letectví a kosmonautika