Laserový interferometr Zygo Verifire 6

Sférointerferometr pro precizní měření kvality povrchu rovinné i sférické optiky v reflexní i transmisní konfiguraci.

Kompletní sestava určená do čistých prostor, včetně speciální úpravy optického stolu se samonivelačními pneumatickými izolátory.

Laserový Fizeau interferometr Verifire 6” od předního amerického výrobce Zygo Inc. (Ametek) s anti-vibračním stolem od TMC (Ametek). Jedná se o sestavu přesného laserového interferometru s fázovým posuvem (phase shifting interferometry), s referenční optikou o kvalitě povrchu lepší než lambda/40 (PVr, @633 nm), a s optickým stolem pro izolaci vibrací. Sestava slouží k měření rovinné a sférické optiky i pro měření komplexních optických soustav. Umožňuje měřit deformaci vlnoplochy, optické aberace vyšších řádů a jejich porovnání s modelovými daty pro následnou optimalizaci výroby. Možný je též export i import dat pro simulaci (například pomocí SW Zemax) a porovnání rozdílu mezi modelem měřeného dílu a reálně naměřenými výsledky. Samozřejmostí je mód QPSI umožňující velmi přesná měření i v turbulentních podmínkách, nebo například motorizovaný kontinuálně nastavitelný optický zoom 1x - 5x. Dodaná sestava anti-vibračního stolu je speciálně upravená pro správné fungování v čistých prostorách.

Parametry zařízení

• Laserový zdroj: Stabilizovaný HeNe, 632.8 nm, prodloužená záruka, výrobce: Zygo
• Průměr měřicího svazku: 6” (150 mm)
• Optický zoom: kontinuální v rozsahu 1x - 5x, motorizovaný
• SW: Špičkový software Mx™ vyvíjený na míru pro potřeby měření a analýzy optických povrchů pomocí optické interferometrie