Optický 3D profilometr na bázi WLI-CSI od předního amerického výrobce Zygo Inc. (Ametek).
Jedná se o sestavu white-light interferometrického 3D mikroskopu s možností měření fázovým posuvem (phase shifting
interferometry) pro dosažení sub-angströmové opakovatelnosti pro libovolné zorné pole. Rozlišení v ose Z je
nezávislé na zvětšení objektivu.
Sestava slouží k měření prakticky libovolného povrchu, obsluha přístroje je extrémně jednoduchá a umožňuje kompletní
měření stisknutím jediného tlačítka.
Vyhodnocení je možné provádět ve 3D datech nebo v libovolných 2D řezech (kruhové či přímé řezy). Samozřejmostí je
možnost exportu naměřeného povrchu do 3D modelu.
Dodaná sestava obsahuje integrovanou anti-vibračního desku a díky optimalizovaným měřicím módům dosahuje extrémně
vysoké opakovatelnosti a přesnosti měření v těch nejnáročnějších podmínkách, a to přímo ve výrobní hale u obráběcího
stroje.
Parametry zařízení
- Polohování vzorku: motorizovaný 5-osý stolek XYZRP
- Sada interferometrických objektivů
- Sada přídavného optického zoomu
- Možnost sešívání zorných polí: ANO
- Opakovatelnost topografie povrchu: < 0,08 nm
- SW: Špičkový software Mx™ vyvíjený na míru pro potřeby měření a analýzy povrchů
