Pro zadání od klienta jsme zvolili Microwriter ML3 Pro od britského výrobce Durham Magneto Optics Ltd. (DMO).
Jedná se o sestavu vhodnou pro mikrofluidiku i pro mikrokontaktování, MEMS, vlnovody či lab-on-a-chip aplikace.
Zdroj osvitu s vlnovou délkou 385 nm a vysokým optickým výkonem umožňuje zápis na běžné g-line a h-line fotorezisty, ale také oblíbený i-line fotorezist SU-8 a další.
Funkce integrovaného profilometru umožňuje mj. ověření zápisu po vyvolání struktury.
Mezi další klíćové parametry patří možnost zápisu ve stupních šedi, objektiv 10x pro vysoké rozlišení (1 µm) a druhý objektiv s velkou hloubkou ostrosti pro struktury s vysokým poměrem výšky a šířky (rozlišení 5 µm).
Dodanou sestavu je v budoucnu možné rozšířit na vyšší rozlišení, o teplotní stabilizaci, virtuální promítání masky, možnost zarovnání dle markerů na zadní straně waferu, druhou vlnovou délku osvitu a další funkcionality.
Parametry zařízení
- Vlnová délka zdroje: 385 nm
- Rozlišení zápisu: 1 µm a 5 µm
- Počet objektivů: 2 (zvětšení 3x až 10x)
- Další funkce: Wide field viewer, integrovaný profilometr, autofocus, focus lock, virtuální rotace, automatické centrování vzorku, automatická detekce hran
