V srpnu 2021 jsme pro Ústav analytické chemie, AV ČR instalovali Microwriter ML3 Pro od britského
výrobce Durham Magneto Optics Ltd. (DMO). Jednou z hlavních aplikací je tvorba
struktur pro mikrofluidiku.
Jedná se o sestavu s volitelným rozlišením v rozsahu 0,6 µm až 5
µm, s vysoce přesným polohovacím
systémem.
Zdroj osvitu s vlnovou délkou 365 nm a vysokým optickým výkonem je optimální pro i-line fotorezisty, ale umožňuje i
zápis na běžné g-line a h-line fotorezisty.
Teplotní stabilizace zajišťuje maximální stabilitu i pro delší zapisovací úlohy (typicky pro kombinace vysokého
rozlišení a velké plochy, nebo hloubkového záznamu na velké ploše – typické pro mikrofluidiku).
Funkce integrovaného profilometru umožňuje mj. ověření zápisu po vyvolání struktury.
Funkce Virtual mask aligner (VMA) pro přesné zarovnání zápisu na existující struktury poslouží pro přesné a snadné
mikro-kontaktování. Microwriter ML3 navíc umožňuje zápis i ve stupních šedi.
Parametry zařízení
- Vlnová délka zdroje: 385 nm
- Teplotní stabilizace: ± 0,25 °C
- Rozlišení zápisu: 600 nm, 1000 nm, 2000 nm a 5000 nm
- Počet objektivů: 4 (zvětšení 3x až 20x
- Další funkce: VMA, wide field viewer, integrovaný profilometr, autofocus, focus lock, virtuální rotace,
automatické centrování vzorku, automatická detekce hran, automatické rozpoznání markerů.