MicroWriter ML®3 je přístroj určený pro přímý (bezmaskový) optický záznam mikrostruktur do fotorezistů. Umožňuje výrobu elementů se sub-mikronovým rozlišením i s velkými poměrem stran pro ty nejnáročnějí aplikace (od mikrokontaktování přes tvorbyu difraktivních struktur po mikrofluidiku). 3D zápis ve stupních šedi rozšiřuje využitelnost i na tvorbu optických mikroelementů (mikročočky, blejzované mřížky).
Unikátně vysoká rychlost díky plošnému zápisu společně s integrovanými nástroji pro zvýšení efektivity posouvají uživatelskou zkušenost na novou úroveň. Microwriter ML3 je pro svou vysokou míru flexibility ideální pro účely výzkumu a vývoje a pro tvorbu prototypů.
Aplikace
Přístroje umožňují rychlý a jednoduchý návrh a přípravu:
- fotonických prvků
- MEMS/NEMS struktur
- lab-on-a-chip a mikrofluidních elementů
- difraktivních struktur
- prvků pro THz aplikace
- struktur pro mikroelektroniku a spintroniku.
MicroWriter rovněž umožňuje si vytvořenou strukturu zobrazit a případně upravit nebo doplnit díky automatickému zarovnání vzorku.
Klíčové vlastnosti
- Rozlišení až 400 nm
- Rychlost zápisu až 180 mm2/min
- Automatická volba rozlišení
- Možnost dual-wavelength systému (365 nm a 405 nm)
- Vizualizace struktury na obraz vzorku před zápisem
- Možnost realizace 3-D struktur
- Korekce nerovností vzorku (wedge/bow)
- Uživatelsky přívětivý software
- Skvělý poměr cena / výkon
- Komunikační modul - e-mailové notifikace o stavu úloh
