V listopadu 2021 jsme pro Ústav přístrojové techniky, AV ČR instalovali Microwriter ML3 Baby+ Dual-Wave od britského
výrobce Durham Magneto Optics Ltd. (DMO).
Jedná se o sestavu s volitelným rozlišením 0,6 µm a 5 µm s možností dalšího rozšíření a s vysoce přesným polohovacím
systémem se středním rozsahem zápisu (150 mm x 150 mm).
Duální zdroj osvitu je novinkou pro optimální zápis na širokou škálu fotorezistů (g-, h-, i-line a broadband
fotorezisty). Konstrukčně je řešeno pomocí dvou osvitových jednotek (výkonné úzkopásmové LED: 365 nm a 405 nm) s
automatickým přepínáním dle potřeb uživatele.
Funkce integrovaného profilometru umožňuje mj. ověření zápisu po vyvolání struktury.
Zápis i ve stupních šedi je umožněn při zachování vysoké rychlosti plošného zápisu a to ve 256 úrovních intenzity.
Parametry zařízení
- Vlnová délka zdroje: 365 nm + 405 nm
- Rozlišení zápisu: 600 nm, 5000 nm
- Počet objektivů: 2 (zvětšení 3x až 20x) s možností budoucího rozšíření a s digitálním zoomem.
Další funkce: wide field viewer, integrovaný profilometr, autofocus, focus lock, virtuální rotace,
automatické centrování vzorku, automatická detekce hran, automatické rozpoznání markerů