IndyStar od Coherent je robustní vysoce výkonný excimerový laser určený pro vysoké opaovací frekvence až 2000 Hz. Excimerový laser IndyStar se vyznačuje vysokou životností dosahující řádu miliard velmi krátkých pulsů a to na vlnových délkách 193 nm a 248 nm. Toho je dosažeo díky osvědčené technologii laserové trubice ALMETA díky níž je laser certifikovaný podle Semi-S2. Řada IndyStar je navržena tak, aby splňovala nejvyšší nároky pro průmyslové využití.
Klíčové vlastnosti
- Energie v pulsu až 12 mJ
- Vysoká životnost laserové trubice
- Robustní průmyslový design
- Účinná rovnoměrná preionizace
- Vysoká opakovací frekvence až 2 kHz
- Certifikace Semi-S2
- Funkce POWERLOK a TIMELOK
- Vysoká účinnost, napájení pouze 230VAC