Nanopolohovací platforma NPP-1

Extrémně stabilní planární polohovací platforma NPP-1 od Sios Messtechnik je určena primárně pro osazení AFM (či jiný typem senzoru). Jedná se o platformu s velkým rozsahem a přesným interferometrickým odměřováním polohy. Platformu lze osadit prakticky libovolným typem senzoru, který vyžaduje stabilní, opakovatelné a přesné polohování vzorku.

Klíčové vlastnosti

2,5-D polohovací a měřicí systém s nejvyšší přesností a stabilitou
Rozsah měření a polohování: Ø 100 mm
Laterální rozlišení měření ≤ 0,02 nm
Řízení: 3 diferenciální laserové interferometry
Metrologická opakovatelnost díky stabilizovaným HeNe laserům
Otevřená architektura zařízení umožňuje použití senzorů podle přání zákazníka (typicky AFM)
Uživatelské rozhraní: Sios Software / API rozhraní

Typické aplikace

nanopolohování, nanomanipulace, nanostrukturování
zpracování a měření mikroelektronických a mikromechanických komponent
měření optiky, mikrosystémové techniky s nanometrovou přesností ve velkých prostorových rozmezích
kontinuální skenování AFM na velkých plochách

SIOS Messtechnik GmbH

Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis

S čím dalším můžeme pomoci

Parametry

Platforma pro nano měření a polohování NPP-1 umožňuje polohování v rozsahu ~100 mm. Vysoké rozlišení laserových interferometrů používaných pro zpětnou vazbu polohování, rigidní architektura polohovacího uspořádání, osy polohovacího systému na vzduchových ložiscích a optimalizovaný řídicí systém umožňují odchylky polohy a věrnost dráhy pohybu < 2 nm RMS.

Měřený objekt je umístěn přímo na pohyblivém zrcadle. Poloha a natočení zrcadla jsou doměřovány interferometricky.

V tomto systému se používají ultra-stabilní interferometry řady SP-DI/F. Světlo stabilizovaného laseru je přenášeno optickými vlákny z elektronické jednotky do jednotlivých hlav interferometru. Výsledkem je kompaktní a teplotně stabilní konstrukce JE-1.

S užitečným zatížením až 5 kg lze pomocí této platformy s vysokou přesností polohovat i větší a těžší objekty.

Princip nanopolohovacího systému NPP-1 je navržen tak, aby byl škálovatelný, a proto lze systém na požádání přizpůsobit.

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.