Americký výrobce Zygo, světový lídr na poli interferenčních profiloměrů a laserových interferometrů, přichází na trh s novou generací modulárních optických profiloměrů NewView 9000 a současně také s novou, vylepšenou vlajkovou lodí Nexview NX2.
Oproti předchozí generaci dostál výrazných vylepšení nejen hardware, ale také proprietární software Zygo Mx™ pro ovládání měření i pokročilou analýzu dat.
Zásadní HW novinkou je osazení nový senzorem, který poskytne:
- o 30 % vyšší citlivost a o 25 % lepší vertikální rozlišení
- o 95 % více pixelů umožňující při shodném rozlišení zabrat větší zorné pole
- o 100 % vyšší rychlost skenování
Uživatelé se mohou těšit také na mnohá softwarová vylepšení, jimž vévodí unikátní novinka Smart Setup. Tato funkce minimalizuje nároky na operátora a výrazně snižuje čas měření: nová generace to zvládne od usazení vzorku po kompletní metrologická data do 1 minuty na naprosté většině povrchů.
Klíčovými SW novinkami jsou:
- Smart Setup - kompletní nastavení a změření vzorku do 1 minuty
- Part Finder - kompletní nastavení parametrů měření a nalazení povrchu vzorku
- Fast Focus - vylepšený autofokus s desetkrát vyšší rychlostí oproti předchozí generaci i konkurenci
- Vylepšní kontrastu u intenzitních map (pro 2D vision-based analýzu)
- Vylepšené menu pro ještě vyšší přehlednost
Tato vylepšení vedou na výrazné zvýšení rychlosti měření s vyšší přesností, vyšší produktivitou. Nové SW funkce jako je Fast Focus, Part Finder a Smart Setup, vedou na výrazné snížení nároků na operátora a zrychlení měření. Nové funkce také umožňují ještě vyšší míru automatizace.
Vylepšení kontrastu u intenzitních obrazců poskytuje lepší podklady pro 2D analýzu obrazových dat.
Profiloměry nové generace lze použít i pro měření transparentních vrstev včetně možnosti současného měření profilu transparentního povlaku, jeho tloušťky i profilu substrátu. Verze Nexview NX2 navíc nabízí možnost měření v režmu True Color pro zobrazení mikroskopického profilu povrchu v reálných barvách.
Samozřejmě zůstávají veškeré možnosti, na které jsou uživatelé zvyklí, jako například měření a vyhodnocení dle norem ISO i dle uživatelem definovaných předpisů s možností skriptování.