Na podzim 2016 jsme realizovali dodávku optického interferenčního profiloměru řady NewView NV8300 série pro přesné 3D měření struktury a tvaru povrchu. Výrobcem systému je Zygo. Systém bude využíván pro hodnocení povrchů definovaně namáhaných částí s vyhodnocením vzniklého opotřebení a to ve 2D i 3D (profil, tvar, objem včetně souvisejících parametrů).
Přístroj NV8300 funguje na principu interference bílého světla na povrchu vzorku (Coherent Scanning Interferometry, případne Phase Shifting Interferometry) a umožňuje tak bezkontaktně měřit přesnou strukturu, tvar či drsnost povrchu a to s nanometrovou přesností a opakovatelností. Lze měřit jak mikrooblasti, tak makroplochy v řádů jednotek až stovek mm, kdy se využívá motorizovaný stolek a skládání obrazu z jednotlivých měření.
Parametry:
- Vertikální rozsah skenu: 150 um v přesném režimu s piezoskenerem 20 mm v rozšířeném módu
- Opakovatelnost měření: 0,01 nm
- Optické laterální rozlišení: 340 nm (100X objectiv)
- Vzorkovací laterální rozlišení: 40 nm (100X objektiv 2X zoom)
- Dostupné objektivy: 1X, 2X, 2.75X, 5.5X, 10X, 20X, 50X, 100X standardní, LWD, SLWD Zoomovací optika: 0.5X, 0.75X, 1.0X, 1.5X, 2.0X
- Přístrojem lze měřit průhledné, neprůhledné materiály, povrstvené či nepovrstvené vzorky, hladké, drsné i vyleštěné vzorky s odrazivostí od 0,05% do 100 %.
