Druhy pohonů
- Krokové motory (řada L)
- DC servo motory (řada L)
- Lineární magnetické motory (řada V)
Druhy odměřování polohy
- Bez odměřování polohy
- Rotační enkodér na servo motoru (nepřímé odměřování)
- přímý inkrementální enkodér
Typické parametry
- Rozsah polohování ve dvou osách od 102 x 102 mm až po 305 x 305 mm
- Obousměrná opakovatelnost až ± 0,25 µm
- Nosnost až 20 kg
- Varianty s vnitřní aperturou
- Varianty pro vakuum