Možnosti měření optických profiloměrů závisí na použitých objektivech. Zygo nabízí široký výběr vysoce kvalitních standardních interferometrických objektivů.
Objektivy ovlivňují tyto parametry:
- Numerická apertura a zvětšení
- Pracovní vzdálenost
- Měřitelný rozsah úhlů
- Velikost zorného pole
Od Zygo jsou dostupné standardní interferometrické objektivy kompaktního designu, širokoúhlé objektivy i objektivy s dlouhou a super-dlouhou pracovní vzdáleností (SLWD).
Zygo jako první uvádí na trh objektivy typu (Zygo Wide-Field) ZWF pro velká zorná pole (> 30 mm) s minimalizací zkreslení obrazu oproti objektivům standardního provedení využívajícím princip Michelsonova interferometru. Tento typ objektivů je optimalizovaný pro velká zorná pole a podléhá patentové ochraně.
Rozsah zvětšení lze nadále rozšířit kombinací s přídavným optickým zoomem (0,5x až 2,0x) na celkový rozsah optického zvětšení 0,25x až 200x.