- Optixs
- Produkty
- Doplňky a příslušenství
- Charakteristika plazmového výboje
- Sondy pro detekci RF frekvence
Sondy pro detekci RF frekvence
VÝROBCE: | Impedans | KATEGORIE: |
Sondy pro detekci RF frekvence, měření pracovního cyklu v reálném čase, měření průměrného výkonu, napětí, proudu, impedance plazmového výboje i RF pulsní monitorování od Impedans. V portfoliu je na výběr celkem šest produktů - Octiv Mono 2.0, Octiv Poly 2.0, Octiv Suite 2.0, Moduli RF Spectrometer, Moduli RF Event Detector a Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring.
Máte zájem o Sondy pro detekci RF frekvence
Potřebujete radu?
PRODUKTY
Octiv Mono 2.0
RF měřák výkonu, senzor směrového výkonu a analyzátor impedance. Systém měří jednu základní frekvenci a má NIST přesnost 1%. Jedná se o in-line senzor používaný k ověření RF výstupního výkonu z RF generátorů, přizpůsobení rozsahu impedance a účinnosti jednotky, a pro obecná měření elektroměru.
Klíčové vlastnosti:
- Automatické přepínání mezi CW a Pulsed RF monitorováním v režimu průměrného času (TAM).
- Reportuje pulzní frekvenci a pracovní cyklus s sub-mikronovou přesností v TAM.
- Časově rozlišený režim s 1 mikrosekundovým rozlišením pro detailní analýzu průběhu.
- 2 varianty použití: samostatně stojící nebo integrace s jakoukoliv software platformou využívající Impedans komunikační protokol.
Octiv Poly 2.0
Multi-frekvenční in-line RF systém pro měření napětí, proudu a fáze se síťovou komunikací (Ethernet, EtherNet/IP nebo EtherCAT). Vhodný pro efektivní odstranění problémů, jako jsou chyby detekce koncových bodů a nadbytečná preventivní údržba.
Klíčové vlastnosti
- Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
- Bezkonkurenční přesnost výkonu do impedance zátěže 50 Ω a jiné než 50 Ω díky pokročilé kalibraci s 1% přesností.
- Opakovatelnost senzoru <0.1%.
- Sledování frekvence s až ± 10% základní frekvencí jako standard, s možností uzpůsobení pro monitorování intermodulační frekvence.
Octiv Suite 2.0
Jeden z nejvíce sofistikovaných RF senzorů na trhu pro měření in-line výkonu a impedance, s bezkonkurenční přesností a funkčností. Jedná se o neinvazivní, in-line senzor určený pro monitorování všech parametrů RF výkonu, jako je například tok iontů.
Klíčové vlastnosti:
- Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
- Bezkonkurenční přesnost výkonu do impedance zátěže 50 Ω a jiné než 50 Ω díky pokročilé kalibraci s 1% přesností.
- Opakovatelnost senzoru <0.1%
- Jedno a vícefrekvenční napětí se zobrazením průběhu.
- Monitorování toku iontů poskytuje přímou korelaci s mírou leptání a depozice.
- 2 varianty použití: samostatně stojící nebo integrace s jakoukoliv software platformou využívající Impedans komunikační protokol.
Moduli RF Spectrometer
Radiofrekvenční (RF) detektor, který přímo monitoruje harmonické frekvence generované plazmatem. Je určen pro detekci koncového bodu a poruch na produktech, jako je netěsnost komory, posun waferů a další závažné poruchy plazmatu.
Klíčové vlastnosti:
- Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
- Plně neinvazivní - integrace systému je možná bez nutnosti modifikací stávajících systémů.
- USB, Ethernet, EtherCAT se snadnou API a FDC integrací.
Moduli RF Event Detector
Sofistikovaný all-in-one diagnostický systém pro detekci plazmových oblouků a monitorování RF pulzů. Architektura systému umožňuje zpracování RF měření v reálném čase s mikrosekundovým rozlišením. Je designovaný tak, aby současně detekoval a charakterizoval plazmové oblouky, monitoroval každý RF puls a kontroloval, zda každý puls odpovídá předdefinovaným specifikacím.
Klíčové vlastnosti:
- 1 μs rozlišení pro plazmové oblouky a atypické pulzy (s přizpůsobitelným filtrem šumu).
- Nastavitelné widgety pro klasifikaci plazmových oblouků a pulzů.
- Monitorování pracovního cyklu, pulsní frekvence a cyklu každého pulsu.
- Reportování deviací od uživatelsky nastavených specifikací.
- ON-OFF a multi-level pulsování (až 3 levely).
- Reportování maxima, minima a průměru proudu a napětí během pulzů.
Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring
Sofistikovaný all-in-one diagnostický systém pro detekci plazmových oblouků a monitorování RF pulzů. Architektura systému umožňuje zpracování RF měření v reálném čase s mikrosekundovým rozlišením. Je designovaný tak, aby současně detekoval a charakterizoval plazmové oblouky, monitoroval každý RF puls a kontroloval, zda každý puls odpovídá předdefinovaným specifikacím.
Klíčové vlastnosti:
- 1 μs rozlišení pro plazmové oblouky a atypické pulzy (s přizpůsobitelným filtrem šumu).
- Nastavitelné widgety pro klasifikaci plazmových oblouků a pulzů.
- Monitorování pracovního cyklu, pulsní frekvence a cyklu každého pulsu.
- Reportování deviací od uživatelsky nastavených specifikací.
- ON-OFF a multi-level pulsování (až 3 levely).
- Reportování maxima, minima a průměru proudu a napětí během pulzů.
Dokumenty
ModuliRFevent_BR-0014-02
StáhnoutModuli_DS-0009-02-Compressed
StáhnoutModuliRFspec_BR-0009-03
StáhnoutOctiv-Suite_DS-0003-07
StáhnoutOctivSuite_BR-0003-09
StáhnoutOctiv-Poly_DS-0002-06
StáhnoutOctivPoly_BR-0002-09
StáhnoutOctivMono_BR-0001-11
StáhnoutOctiv-Mono_DS-0001-05
StáhnoutAlfven_DS-0004-02
StáhnoutAlfven_BR-0004-06
StáhnoutMáte zájem o Sondy pro detekci RF frekvence? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Martin Klečka, případně využijte naše další kontakty.