Microwriter ML3 Pro od britského výrobce Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) na anti-vibračním stole CleanBench od
amerického TMC.
Jedná se o sestavu s volitelným rozlišením (od 600 nm do 5 um), s vysoce přesným polohovacím systémem s
interferometrickým odměřováním, plně optickým autofokusem a teplotní stabilizací.
Zdroj osvitu s vlnovou délkou 385 nm a vysokým optickým výkonem a dlouhou životností umožňuje zápis na běžné g-line a
h-line fotorezisty, ale také oblíbený i-line fotorezist SU-8.
Teplotní stabilizace zajišťuje maximální stabilitu i pro delší zapisovací úlohy.
Funkce integrovaného profilometru umožňuje mj. ověření zápisu po vyvolání struktury.
Funkce Virtual mask aligner (VMA) pro přesné zarovnání zápisu na existující struktury poslouží pro přesné a snadné
mikro-kontaktování. Možnost zápisu ve stupních šedi.
Parametry zařízení
- Vlnová délka zdroje: 385 nm
- Teplotní stabilizace: ± 0,25 °C
- Rozlišení zápisu: 600 nm, 1000 nm, 2000 nm a 5000 nm
- Počet objektivů: 4 (zvětšení 3x až 20x + digitální zoom)
- Další funkce: VMA, wide field viewer, integrovaný profilometr, autofocus, focus lock, virtuální rotace,
automatické centrování vzorku, automatická detekce hran
