In situ elipsometr iSE

Spektroskopický elipsometr iSE od J.A. Woollam je určený speciálně pro real-time in-situ charakterizaci vrstev. Využívá se například pro charakterizaci kinetiky růstu tenkých vrstev ve vakuových komorách. Umožňuje mimo jiné zjištění optických vlastností materiálů jako komplexní index lomu, ale také určení tloušťky vrstev.

iSE s technologií Dual-Rotation měří optické vlastnosti tenkých vrstev během jejich růstu se sub-angströmovou citlivostí ve zlomku sekundy. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně. Elipsometr iSE je vhodný pro měření široké škály materiálů, včetně kovů, polovodičů, oxidů, nitridů a dalších.

Klíčové vlastnosti

  • In-situ konfigurace s jednoduchou integrací na komoru
  • Kompaktní design
  • Příznivá cena
  • Rychlé, přesné, nedestruktivní měření celého spektra současně
  • Real-time monitoring kinetiky růstu vrstev
  • Vhodný pro širokou škálu materiálů
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Video

Aplikace

Parametry

Design Dual Rotation 
Úhly dopadu (AOI) Typicky 60 ° - 75 °
Rychlost sběru dat 0,3 s
Detektor CCD
Spektrální rozsah 400 - 100 nm

Rychlé, širokospektrální Měření

iSE využívá inovativní kombinaci Dual-Rotation™ s moderní CCD detekcí zajišťující kontinuální multi-zonální měření na stovkách vlnových délek během zlomku sekundy.

Přesnost

Měření založená na spektroskopické elipsometrii využívají změny polarizačního stavu světla, což pro měření v reálném čase implikuje významné výhody oproti intenzitním měřením:

  • Přesnost (accuracy) naměřených dat není ovlivněna coatingem na průzorech
  • Sběr přesných dat i při dopadu jen části svazku (stačí částečný dopad světla na detektor)
  • Vysoká citlivost i na velmi tenké vrstvy díky fázovému měření

Novinky

Zobrazit vše

Dokumenty

iSE Brožura

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster