Sondy pro detekci RF frekvence

Sondy pro detekci RF frekvence, měření pracovního cyklu v reálném čase, měření průměrného výkonu, napětí, proudu, impedance plazmového výboje i RF pulsní monitorování od Impedans. V portfoliu je na výběr celkem šest produktů - Octiv Mono 2.0, Octiv Poly 2.0, Octiv Suite 2.0, Moduli RF Spectrometer, Moduli RF Event Detector a Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring.

Impedans

Odborný poradce

Ing. Martin Klečka

+420 607 014 278

klecka@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis

S čím dalším můžeme pomoci

Produkty

Octiv Mono 2.0

RF měřák výkonu, senzor směrového výkonu a analyzátor impedance. Systém měří jednu základní frekvenci a má NIST přesnost 1%. Jedná se o in-line senzor používaný k ověření RF výstupního výkonu z RF generátorů, přizpůsobení rozsahu impedance a účinnosti jednotky, a pro obecná měření elektroměru.

Klíčové vlastnosti:

Automatické přepínání mezi CW a Pulsed RF monitorováním v režimu průměrného času (TAM).
Reportuje pulzní frekvenci a pracovní cyklus s sub-mikronovou přesností v TAM.
Časově rozlišený režim s 1 mikrosekundovým rozlišením pro detailní analýzu průběhu.
2 varianty použití: samostatně stojící nebo integrace s jakoukoliv software platformou využívající Impedans komunikační protokol.

Octiv Poly 2.0

Multi-frekvenční in-line RF systém pro měření napětí, proudu a fáze se síťovou komunikací (Ethernet, EtherNet/IP nebo EtherCAT). Vhodný pro efektivní odstranění problémů, jako jsou chyby detekce koncových bodů a nadbytečná preventivní údržba.

Klíčové vlastnosti:

Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
Bezkonkurenční přesnost výkonu do impedance zátěže 50 Ω a jiné než 50 Ω díky pokročilé kalibraci s 1% přesností.
Opakovatelnost senzoru <0.1%.
Sledování frekvence s až ± 10% základní frekvencí jako standard, s možností uzpůsobení pro monitorování intermodulační frekvence.

Octiv Suite 2.0

Jeden z nejvíce sofistikovaných RF senzorů na trhu pro měření in-line výkonu a impedance, s bezkonkurenční přesností a funkčností. Jedná se o neinvazivní, in-line senzor určený pro monitorování všech parametrů RF výkonu, jako je například tok iontů.

Klíčové vlastnosti:

Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
Bezkonkurenční přesnost výkonu do impedance zátěže 50 Ω a jiné než 50 Ω díky pokročilé kalibraci s 1% přesností.
Opakovatelnost senzoru <0.1%
Jedno a vícefrekvenční napětí se zobrazením průběhu.
Monitorování toku iontů poskytuje přímou korelaci s mírou leptání a depozice.
2 varianty použití: samostatně stojící nebo integrace s jakoukoliv software platformou využívající Impedans komunikační protokol.

Moduli RF Spectrometer

Radiofrekvenční (RF) detektor, který přímo monitoruje harmonické frekvence generované plazmatem. Je určen pro detekci koncového bodu a poruch na produktech, jako je netěsnost komory, posun waferů a další závažné poruchy plazmatu.

Klíčové vlastnosti:

Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
Plně neinvazivní - integrace systému je možná bez nutnosti modifikací stávajících systémů.
USB, Ethernet, EtherCAT se snadnou API a FDC integrací.

Moduli RF Event Detector

Sofistikovaný all-in-one diagnostický systém pro detekci plazmových oblouků a monitorování RF pulzů. Architektura systému umožňuje zpracování RF měření v reálném čase s mikrosekundovým rozlišením. Je designovaný tak, aby současně detekoval a charakterizoval plazmové oblouky, monitoroval každý RF puls a kontroloval, zda každý puls odpovídá předdefinovaným specifikacím.

Klíčové vlastnosti:

1 μs rozlišení pro plazmové oblouky a atypické pulzy (s přizpůsobitelným filtrem šumu).
Nastavitelné widgety pro klasifikaci plazmových oblouků a pulzů.
Monitorování pracovního cyklu, pulsní frekvence a cyklu každého pulsu.
Reportování deviací od uživatelsky nastavených specifikací.
ON-OFF a multi-level pulsování (až 3 levely).
Reportování maxima, minima a průměru proudu a napětí během pulzů.

Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring

Klíčové vlastnosti:

1 μs rozlišení pro plazmové oblouky a atypické pulzy (s přizpůsobitelným filtrem šumu).
Nastavitelné widgety pro klasifikaci plazmových oblouků a pulzů.
Monitorování pracovního cyklu, pulsní frekvence a cyklu každého pulsu.
Reportování deviací od uživatelsky nastavených specifikací.
ON-OFF a multi-level pulsování (až 3 levely).
Reportování maxima, minima a průměru proudu a napětí během pulzů.

Dokumenty

Sondy pro detekci RF frekvence

OptiXs care

Produkty

Octiv Mono 2.0

Klíčové vlastnosti:

Octiv Poly 2.0

Klíčové vlastnosti:

Octiv Suite 2.0

Klíčové vlastnosti:

Moduli RF Spectrometer

Klíčové vlastnosti:

Moduli RF Event Detector

Klíčové vlastnosti:

Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring

Klíčové vlastnosti:

Dokumenty

ModuliRFevent_BR-0014-02

Moduli_DS-0009-02-Compressed

ModuliRFspec_BR-0009-03

Octiv-Suite_DS-0003-07

OctivSuite_BR-0003-09

Octiv-Poly_DS-0002-06

OctivPoly_BR-0002-09

OctivMono_BR-0001-11

Octiv-Mono_DS-0001-05

Alfven_DS-0004-02

Alfven_BR-0004-06

Poptat produkt

Odborný poradce