Spektroskopický elipsometr RC2 od J.A. Woollam s novou technologií Dual RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) umožňuje rychlé a vysoce přesné měření široké škály materiálů jako např. organických materiálů, dielektrik, polovodičů i kovů. Jedná se o modulární systém v konfiguraci PCSCA (Polarizer-Compensator-Sample-Compensator-Analyzer). Díky technologii Dual RCE měří RC2 spojitě (bez singulárních bodů) a s vysokou senzitivitou v celém rozsahu elipsometrických hodnot.
Používá se pro charakterizaci tenkých vrstev a zjištění optických vlastností materiálů jako například komplexní index lomu a koeficient absorpce.
Široký spektrální rozsah s proměnným úhlem měření umožňuje charakterizaci i vícevrstevných struktur.
Klíčové vlastnosti
- Nejpřesnější elipsometr na bázi CCD
- Měření kompletní Muellerovy matice
- Modulární design
- Flexibilní systémová integrace
- Dual RCE technologie se dvěma rotujícími kompenzátory
- Nejširší spektrální rozsah při simultánní detekci celého spektra
- Možnost měření v in situ i v ex situ konfiguraci
Elipsometry řady RC2 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat a motorizovaným pracovním stolem, který umožňuje mapování vzorku a charakterizaci vrstev (homogenita, drsnost, fázové přechody, ...).
