VASE Elipsometr

VASE® je řada přesných, univerzálních a spolehlivých spektroskopických elipsometrů od amerického výrobce J. A. Woollam pro výzkum všech typů materiálů. Je optimalizovaná pro měření v oblasti Brewsterova úhlu díky kombinaci RAE a patentované technologii AutoRetarder. Poradí si s polovodiči, dielelektriky, polymery, kovy i multivrstvami.

Kromě vysoké přesnosti měření vyniká širokou variabilitou a spektrálním rozsahem – od 193 do 4000 nm.
Nastavitelná vlnová délka a úhel dopadu umožňují flexibilní měření mj. v těchto oblastech:

Reflexní a transmisní elipsometrie
Zobecněná elipsometrie (Anizotropie, Retardance, Dvojlomnost)
Intenzitní měření: reflektance (R) a transmitance (T)
Křížová polarizace (R/T)
Depolarizace
Optická skaterometrie
Muellerova matice

J.A. Woollam CO.

Aplikační oblasti:

Materiálový výzkum

OptiXs care

Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis

S čím dalším můžeme pomoci

Parametry

Maximální přesnost dat:

VASE je spektroskopický elipsometr s proměnným úhlem a s rotačním analyzátorem (RAE) doplněný o patentovaný AutoRetarder® pro bezkonkurenční přesnost dat.

Vysoká preciznost výběru vlnové délky:

Monochromátor HS-190TM je navržen specificky pro spektroskopickou elipsometrii. kromě vylepšené rychlost, přesnosti vlnové délky a průchodnosti světla přináší automatickou kontroly výběru vlnových délek a spektrálního rozlišení.

Flexibilní měření

VASE je vybaven svislým držákem vzorku, který pojme širokou škálu geometrií měření včetně odrazu, přenosu a rozptylu.

Specifikace

Vertikální držák vzorku
Počítačově řízený úhel dopadu goniometru (20° – 90°)
Monochromátor s jednou nebo dvěma komorami
Spektrální rozsah 250 - 2500 nm (single chamber monochrom.) až 193 - 4000 nm
AutoRetarder®: patentovaná technologie pro zaručení největší přesnosti

Doplňky

DUV od 193 nm
NIR až do 3200 nebo 4000 nm
Motorizované i manuální posuvy XY i rotace
Fokusace měřicího svazku
Kamera pro lokalizaci stopy svazku na vzorku
Kryostat (4,2 až 500 K nebo 4,2 až 800 K)
Liquid stage
Elektrochemická cela
Řízení teploty (Linkam stage -70 ° C až +600 ° C)
a další (viz stránky výrobce)

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Přímý kontakt

+420 910 920 610

info@optixs.cz

VASE Elipsometr

Aplikační oblasti:

OptiXs care

Aplikace

Optická charakterizace nanostruktur