Verifire™ VTS od Zygo je vertikální testovací stanice pro osazení laserovými interferometry Verifire™ a DynaFiz™.
Jedná se o samostatnou interferometrickou pracovní stanici typu UWL (upward-looking) pro stabilní a robustní metrologii tvaru a poloměru křivosti (ROC). Kromě měření sférické optiky je vhodný i pro měření asférické a free-form optiky díky holografickému přístupu (CGH) s optimalizovanými nástroji pro snadné a opakovatelné zarovnání CGH.
Plně integrovaný systém nabízí motorizovanou osu Z s enkodovaným pojezdem v rozsahu 1 metru, který usnadňuje polohování testované optiky a zároveň umožňuje plně automatizované měření ROC. Kompaktní půdorys vyžaduje jen nutné minimum prostoru v měřicí laboratoři.
Odolnost vůči vibracím
Verifire™ VTS nabízí rigorózní mechanický design s integrovaným systémem izolace vibrací pro stabilní metrologii zajišťující důvěryhodné a spolehlivé měření. Tento robustní design se skvěle doplňuje s patentovaným režimem snímání QPSI™, který je standardní součástí všech Zygo interferometrů. Precizní metrologie tak lze dosáhnout i přímo v prostředí výroby, pro které je přítomnost vibrací typická.
Kompatibilita
Verifire™ VTS lze osadit standardními interferometry Verifire™ 4", ale také vyššími řadami interferometrů s aperturou 4" nebo 6", konkrétně modely Verifire HD™, Verifire HDX™ a Dynafiz™. Všechny výše zmíněné interferometry poskytují měření i v režimu QPSI™. Zmíněná sestava pak umožňuje skutečnou osovou metrologii bez degradace dat, typické pro ostatní měřicí systémy v prostředí s vibracemi.
Samozřejmostí je kompatibilita se standardním příslušenstvím k Zygo interferometrům.
Mx™ Software
Měřicfí a analytický software Mx™ od Zygo nabízí širokou škálu funkcí společně s flexibilní konfigurovatelností.To umožňuje jak adaptaci pro konkrétní uživatelskou aplikaci s jednoduchou obsluhou (on-button system), tak i tvorbu high-end aplikací v R&D laboratořích. Nové funkce jako SmartAveraging®, Custom Workspace a integrovaný skriptovací jazyk (Python™) ještě více zjednodušuje plné využití systému a výrazně rozšiřuje funkcionalitu interferometru dle požadavků konkrétní aplikace.
