K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

MicroWriter ML3

VÝROBCE: KATEGORIE:

MicroWriter ML®3 je produktová řada určená pro bezmaskovou optickou litografii (maskless optical lithography) se sub-mikronovým prostorovým rozlišením a unikátně vysokou rychlostí zápisu. Přímá optická litografie nevyžaduje přítomnost masky, zápis probíhá přímo pohybem fokusovaného svazku po substrátu. Svými parametry je ideální pro účely výzkumu a vývoje a pro tvorbu prototypů. Přístroje umožňují rychlý a jednoduchý návrh a přípravu:

  • 3-D difraktivních struktur
  • lab-on-a-chip a microfluidics elementů
  • MEMS/NEMS struktur
  • prvků pro THz aplikace
  • struktur pro mikroelektroniku a spintroniku.

 MicroWriter rovněž umožňuje si vytvořenou strukturu zobrazit a případně upravit.

Hlavní přednosti

  • Rozlišení až 0.6 µm
  • Rychlost zápisu až 180 mm2/min
  • Skvělý poměr cena / výkon
  • Automatická volba rozlišení
  • Uživatelsky přívětivý software
  • Možnost realizace 3-D struktur
  • Zapisovací vlnová délka 385 nm nebo 405 nm

Máte zájem o MicroWriter ML3
Potřebujete radu?

KONTAKTUJTE NÁS
REFERENČNÍ PROJEKT: Laserový litografický systém

 Přímý bezmaskový zápis výrazně snižuje časovou i finanční náročnost při kusové produkci a tvorbě prototypů. Díky automatické volbě rozlišení je uživateli navíc umožněno zapisovat struktury vysokou rychlostí při zachování optimálního rozlišení v celé oblasti zápisu. Automatická fokusace společně s nástrojem pro inspekci povrchu substrátu umožňuje zápis i na nerovné, šikmé a prohnuté substráty.

 Volitelnost vlnové délky osvitu (385 nm nebo 405 nm) umožňuje zápis na širokou škálu fotorezistů (g-, h-, i- line pozitivní i negativní rezisty včetně SU-8). 

Máte zájem o MicroWriter ML3? Potřebujete radu?

Pomůže Vám specialita sekce Richard Schuster , případně využijte naše další kontakty.