Novinky v přímé optické litografii

Britský výrobce přímých optických zapisovačů Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) přichází s řadou novinek a vylepšení nejen pro nové, ale i pro stávající systémy řady Microwriter ML3.

Mezi průlomová vylepšení patří možnost osazení dvěma zdroji osvitu současně (405 nm a 365 nm) a možnost submikronového zápisu (600 nm) již od verze Baby Plus. A to není vše!

Výrobce zároveň uvádí na trh zcela nový systém s extra rozsahem pro až 12“ wafery – optický litograf Microwriter XL s oblastí zápisu 295 mm x 295 mm a rozlišením až 400 nm.

S bezplatnou softwarovou aktualizací navíc nově všechny systémy řady Microwriter ML3 mohou využít komunikační modul k automatickým notifikacím o stavu zapisovacích úloh (např. po dokončení zápisu přijde e-mail). Tato funkčnost je zpřístupněna všem uživatelům pro zvýšení efektivity práce při časově náročnějších úlohách.

Klíčové vlastnosti dual-wavelength option:

Dual-wavelenght option (možnost osazení dvěma zdroji osvitu současně) je ideálním řešením pro všechny, kteří chtějí dosahovat špičkových výsledků na i-line (např. SU-8) a zároveň h- a g-line fotorezistech bez navyšování času zápisu a bez kompromisů na profilu stěny a rozlišení zápisu. Mile Vás překvapí i dlouhá životnost systému, vysoký optický výkon a flexibilita řešení. Touto inovací totiž můžete rozšířit svůj současný litograf pro práci s ještě větší škálou fotocitlivých materiálů. Samotné zdroje osvitu lze vybírat dle vlastního přání – typicky 365 nm a 405 nm. 

Klíčové vlastnosti Microwriteru XL:

Microwriter XL, systém na bázi modelu Microwriter ML3 Pro, zachovává špičkový výkon svého předchůdce a přidává extra prostor nejen pro větší oblast zápisu, ale také pro možné zakázkové modifikace upínání a manipulace vzorků.

Kromě zápisu na plochu až 295 mm x 295 mm tak lze například přidávat dodatečné polohovací a upínací mechanismy nebo systém využít pro zápis velkého množství menších vzorků.

Díky automatickému rozpoznávání povrchu a tvaru lze zapisovat během jedné úlohy i na různě tlusté a nepravidelně tvarované substráty.

Kromě bezkonkurenčního výkonu ponechává Microwriter XL i další přednosti verze Microwriteru ML3 Pro, jako například Virtual Mask Aligner, Wide-field viewer, optický profilometr, aktivní teplotní stabilizaci, anti-vibrační stůl, focus lock, rozpoznání hran, automatické rozpoznání markerů a v neposlední řadě automatické centrování vzorku.

Klíčové vlastnosti komunikačního modulu:

Zasílání notifikací přes e-mail je jedním z klíčových nástrojů pro zvýšení efektivity práce. Pro delší zapisovací úlohy umožňuje sledovat stav záznamu na dálku a nechat systém bez dozoru. Notifikace lze zasílat nejen po ukončení celkové úlohy, ale i pro sledování celého průběhu zápisu.

Jako všechny SW aktualizace je i tato pro stávající zákazníky zcela zdarma.

Pro více informací ohledně novinek nás neváhejte kontaktovat.