Optické profilometry od předního výrobce Zygo řady NewView 8000 jsou výkonné interferometrické systémy nové generace s technologií Coherence Scanning Interferometry (CSI), která kombinuje mód vertikálního interferometrického skenování (VSI - Vertical Scanning Interferometry) a mód měření fázového posuvu interferenčních obrazců (PSI – Phase Shifting Interferometry).
Díky kombinaci těchto metod je možné provádět měření na transparentních i netransparentních materiálech, jako jsou kovy, sklo, polymery, keramika, ale i organické materiály. Lze měřit například transparentní multivrtsvy, hrubé i vysoce leštěné reflexní kovové vrstvy a další, a to bez nutnosti volby módu měření.
Klíčové vlastnosti
- Bezkontaktní metrologie povrchu bez nutnosti úpravy měřeného prvku
- Modulární design
- Vysoká rychlost měření (až 96 µm/s)
- Sub-nanometrová přesnost
- Široký výběr objektivů
- Funkce crash protection chránící objektiv proti nárazům
- 3D interaktivní mapy povrchu
- Flexibilní metrologická analýza
- Komplexní software pro vizualizaci a analýzu dat Zygo Mx
