Excimerové lasery
Excimerové lasery jsou zvláštní skupinou pulzních plynových laserů vyzařujích na vlnových délkách v ultrafialové (UV) části spektra v závislosti na použitém plynu (excimeru). Lasery se kromě vlnové délky liší energií v pulzu, opakovací frekvencí a tudíž i středním výkonem, který se pohybuje od W až po jednotky kW.
Výstupní vlnové délky excimerových laserů jsou:
- 157nm F2 Fluor
- 193nm ArF Argon Fluor
- 248nm KrF Krypton Fluor
- 308nm XeCl Xenon chlór
- 351nm XeF Xenon Fluor
Excimerové lasery generující záření v UV oblasti se používají pro povrchové úpravy, např. pro ablaci a značkování, vytvrzování, polovodičovou výrobu, výrobu vláknových prvků (např. Braggovy mřížky).
IndyStar
Kompaktní excimerový laser s opakovací frekvencí až 2kHz, energií až 12mJ a výstupem na 193 nebo 248 nm
COMPex
Kompaktní excimerový laser s energií v pulzu 750 mJ a opakovací frekvencí až 100 Hz
ExciStar
ExciStar představuje kompaktní excimerový laser navržený pro jednoduchou integraci se zbytkem systému.
LEAP
Průmyslový excimerový laser s energií v pulzu až 1000 mJ a opakovací frekvencí až 300 Hz
GeoLasHD
Laserová ablace pevných vzorků v 193 nm.