- Optixs
- Produkty
- Měření povrchů a vrstev
- Optické profiloměry
Optické profiloměry
Optické profiloměry
Optické profilometry a drsnoměry Zygo na bázi CSI (Coherent Scanning Interferometry) využívající interferenci bílého světla (WLI: White-light interferometry) jsou systémy pro vysoce přesné, bezkontaktní 3D měření topografie povrchu materiálu a tenkých vrstev. Sub-nanometrové vertikální rozlišení je nezávislé na zorném poli.
Typické využití:
- Drsnoměr: bezkontaktní měření drsnosti povrchu (dle ISO 25178) po mechanickém opracování
- 3D profiloměr: zobrazení a precizní metrologie povrchového profilu v mikroměřítku
- Měření větších ploch: možnost sešívání (stitching) dat pro metrologii ve větším měřítku
- Měření výšky schodu (step-height)
- Metrologie optických povrchů
- Analýza topografických dat
ZeGage Pro |
NewView 9000 | Nexview NX2 | Nomad | |
Konfigurace | Stolní | Pracovní stanice | Pracovní stanice | Přenosný |
Opakovatelnost topografie povrchu | až 0.15 nm | 0.08 nm | 0.06 nm | 0.12 nm |
Opakovatelnost RMS ("vertikální rozlišení") | až 0.01 nm | 0.008 nm | 0.005 nm | 0.01 nm |
Maximální rychlost skenu v ose z | 170 µm/s | 170 µm/s | 170 µm/s | 15 µm/s |
Zorné pole | až 17 mm | až 34 mm | až 34 mm | až 12 mm |
Dodatečný optický zoom | Ne | Ano (volitelně) | Ano | Ne |
Měření v režimu True Color | Ne | Ne | Ano | Ne |
Měření transparentních filmů a tenkých vrstev | Ano | Ano | Ano | Ne |
![Optický profiloměr NewView 9000](/obrazky/web/1562nv9k_uv.jpg)
Optický profiloměr NewView 9000
Bezkontaktní, modulární 3D profiloměr pro přesnou metrologii povrchu
![Optický drsnoměr ZeGage Pro](/obrazky/web/1794zegage-pro-se-dvema-objektivy-v-manualnim-karuselu-a-motorizovanymi-xyz-posuvy_uv.jpg)
Optický drsnoměr ZeGage Pro
Robustní 3D optický drsnoměr s opakovatelností až 0,01 nm
![Optický profilometr NexView NX2](/obrazky/web/3809opticky-profilomer-zygo-nexview-nx2_uv.jpg)
Optický profilometr NexView NX2
Nejlepší bezkontaktní optický 3D profiloměr a drsnoměr na trhu s opakovatelností RMS až 0,005 nm
![Zygo objektivy](/obrazky/web/544zygo-objektivy-k-optickym-profilomerum_uv.jpg)
Zygo objektivy
Speciální objektivy Zygo pro WLI optické profiloměry
![Compass 2](/obrazky/web/3796compass-2-od-zygo_uv.jpg)
Compass 2
Compass 2 pro komplexní, plně automatizovanou metrologii povrchu čoček a mikro-čoček.