- Optixs
- Produkty
- Měření povrchů a vrstev
- Optické profiloměry
- Optický drsnoměr ZeGage Pro
Optický drsnoměr ZeGage Pro
VÝROBCE: | ZYGO | KATEGORIE: |
Profiloměry a drsnoměry Zygo ZeGage Pro™ a ZeGage Pro HR™ jsou vhodné pro bezkontaktní kvantitativní měření 3D profilu a drsnosti vzorku. Systém je díky svému designu odolný vůči vibracím, profilometr tak lze umístit přímo na pracovní stůl v továrním provozu bez nutnosti zajištění externí izolace.
Klíčové vlastnosti
- Bezkontaktní metrologie povrchu bez nutnosti úpravy měřeného prvku
- Odolnost vůči vibracím
- Cenově dostupná varianta pro přesná měření
- Rychlost měření až 171 um/s
- Až sub-nanometrová přesnost
- Široký výběr objektivů
- 3D interaktivní mapy povrchu
- Flexibilní metrologická analýza
- Komplexní software pro vizualizaci a analýzu dat Zygo Mx™
ZeGage Pro s nanometrovou a ZeGage Pro HR se sub-nanometrovou přesností měření splňují normu ISO 25178 pro 3D analýzu povrchu. Vysoké rozlišení kamery zajišťuje rychlé (v řádu sekund) a přesné měření detailů povrchu vzorků. Profilometr je schopen provést 2D i 3D měření různých povrchů, a to včetně hladkých, drsných i členitých.
Dodávaný Mx™ software umožňuje pokročilou analýzu a vizualizaci naměřených dat, včetně určení metrologických veličin jako profil drsnosti (Ra, Rz, Rq, atd.), negativní a pozitivní objem, a další.
Máte zájem o Optický drsnoměr ZeGage Pro
Potřebujete radu?
Parametry
Model | ZeGage Pro | ZeGage Pro HR |
Konfigurace | Stolní | |
Opakovatelnost topografie povrchu | až 3,5 nm | až 0,15 nm |
Opakovatelnost RMS | až 0,1 nm | až 0,01 nm |
Maximální rychlost vertikálního skenování | až 171 μm/s | |
Rozsah výšky skenovaného profilu | až 20000 µm |
PŘÍSLUŠENSTVÍ
Software Mx
Komplexní software Zygo Mx pro řízení profiloměru, akvizici dat a jejich následnou analýzu. Programovatelné prostředí umožňuje optimalizaci software a jeho rozhraní dle potřeby. Hlavními přednostmi software jsou:
- Integrovaná SPC statistika
- Výstupní parametry v souladu s ISO normami
- Automatická analýza regionů dle výšky, intenzity signálu, či definovatelných masek pro snadnou automatickou charakterizaci individuálních regionů
- Interaktivní 3D mapy s možností zvětšování, změny orientace a dalších úprav
- Flexibilní analýza s širokou možností kvantifikace výsledků, aplikace filtračních funkcí
V rámci výstupů je možné pracovat s nastavením povolených odchylek v souladu s výrobními standardy což usnadňuje a urychluje rutinní měření. Novinkou je také možnost vylepšeného automatického nalezení pracovní vzdálenosti a automatického zaostření pomocí funkci Fast focus, automatické nastavení parametrů měření pomocí unikátní funkce Part Finder a také kompletní nastavení a proměření vzorku stiskem jediného tlačítka pomocí nástroje Smart Setup.
Objektivy
Možnosti měření optických profiloměrů vzávisí na použitých objektivech. Objektivy určují zvětšení, pracovní vzdálenost, úhel naklonění a zorné pole profilometru (nikoliv rozlišení ve směru osy Z, které je konstantní). Výběr toho správného objektivu je velice důležitý pro dosažení cílů měření.
Zygo nabízí široký výběr vysoce výkonných standardních objektivů kompaktního designu se zvětšením od 1.4x až po speciální ZWF objektivy a objektivy s vysokou numerickou aperturou pro maximální laterální rozlišení.
Kompletní přehled objektivů k optickým profiloměrům Zygo zde.
Dokumenty
Související články
Související produkty
Máte zájem o Optický drsnoměr ZeGage Pro? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Richard Schuster, případně využijte naše další kontakty.