Tvar a textura povrchu
Moderní výrobní metody vyžadují použití vysokorychlostních obráběcích nástrojů sofistikovaných tvarů pro rychlé a účinné obrábění materiálu k výrobě rozličných součástek. Obráběcí nástroje vyžadují kontrolu nabroušení řezacích hran, drsnosti drážek, kontrolu možných prasklin a zlomů, ale také zobrazení případných mikrostruktur na povrchu pro širokou škálu efektů.
Běžně používané machine vision systémy mohou některé z těchto úkolů zvládnout, nikdy však všechny současně s dostatečnou spolehlivostí a v odpovídajícím rozlišení. Pro spolehlivé a přesné měření tvaru i drsnosti s vysokou přeností je však předními světovými výrobci hojně využíváno optických profiloměrů na bázi interference bílého světla (white-light interferometry). Již základní řada profiloměrů Zygo – ZeGage™ poskytuje bezprecedentní přístup ke kvantifikaci porchových parametrů měřených objektů v až sub-nanometrovém vertikálním rozlišení.
Díky přizpůsobitelnosti profiloměru ZeGage™ a dodávaného softwaru Mx™ může uživatel jednoduše vložit obráběcí nástroj na podložku, stisknout tlačítko a získat potřebná data ze zkoumané části povrchu.
Vysoká opakovatelnost měření součástek je klíčová při monitorování procesu výroby. To je klíčové pro redukci zmetkovitosti a pro zvýšení životnosti obráběcích nástrojů.
Mx™ software je plně v souladu s ISO 4287/4288 (2D profil) i s ISO 25178 (3D struktura). Nástroje a ovládací prvky v prostředí software Mx™ jsou přehledné a jednoduše srozumitelné.
Sub-nanometrové vertikální rozlišení nezávislé na použitém interferometrickém objektivu, které poskytují profiloměry firmy Zygo, umožňje přesné měření sklonu, mikrodrsnosti a tvaru, a to bez nutnosti externí izolace vibrací.
