Hexapody do vakua
Kompaktní hexapody vhodné pro použití ve vakuu, k dispozici jsou verze až do úrovně 10-9 hPa (UHV)
H-824.V – Kompaktní a přesný hexapod do vakua
- Rozsah pohybu ±45 mm / ±25°
- Kompatibilita s vakuem do úrovně 10-6 hPa
- Opakovatelnost polohování až ±0.1 µm / ±2 µrad
- Nosnost 2.5 kg nebo 5 kg
- Dvě varianty motorů – stejnosměrný s převodovkou pro vyšší rozlišení a nosnost, stejnosměrný pro vyšší rychlost
- Rychlost polohování 0.5 mm/s nebo 12.5 mm/s
H-850.V - Vysoce přesný hexapod s nosností až 80 kg vhodný do vakua
- Rozsah pohybu ±50 mm / ±30°
- Kompatibilita s vakuem do úrovně 10-6 hPa
- Nosnost až 80 kg
- Pracuje v jakékoliv orientaci
- Opakovatelnost polohování až ±0.2 µm
- Těžká a přesná ložiska umožňují aplikace s dlouhými pracovními cykly
P-911KNMW – Miniaturní piezo hexapod vhodný do UHV
- Rozsah pohybu ±1.5 mm / ±2°
- Kompatibilita s UHV (10-9 hPa)
- Ultra kompaktní design – výška méně než 90 mm, průměr jen 100 mm
- Nosnost až 1.5 kg
- Piezo pohon NEXLINE s integrovaným inkrementálním enkodérem pro rozlišení polohy v lineárních osách pod 0.1 µm
- Vysoce přesné polohování i v silných magnetických polích díky nemagnetickému provedení