Měření povrchů a vrstev
Měření povrchů a vrstev
V naší nabídce naleznete komplexní sadu spičkových přístrojů pro analýzu povrchů a tenkých vrstev. Nabízíme jak systémy na bázi bezkontaktního, tak i kontaktního měření; systémy pro měření i vytváření struktury povrchu v nano- i mikro- měřítku, tloušťky a složení vrstev, měření tvarových odchylek v mikro- i makroskopické škále, komplexní analýzu optických i mechanických vlastností.
- Optické Profiloměry a Drsnoměry - bezkontaktní měření topografie & drsnosti, 3D metrologie povrchu
- AFM a AFSEM - sub-nm 3D mikroskopie s možností korelativní analýzy (SEM, EDX) a nanomanipulace
- Laserové Fizeau Interferometry - metrologie povrchu, měření tvaru optiky
- Laserové odměřovací interferometry a vibrometry - precizní měření posuvů & náklonů, vibrací, kalibrace polohovacích systémů
- Spektroskopické Elipsometry - charakterizace tenkých vrstev a multivrstev
- Nanoindentory - mechanické vlastnosti povrchu, tribologické testy
- Optické litografy - příprava mikrostruktur přímým (bezmaskovým) optickým zápisem
- Nanopolohovací platformy - ultra-stabilní velkoplošné polohování pro libovolné senzory vč. AFM
- Spin coatery - vybavení pro přípravu tenkých povlaků
![Vero - interferometrické AFM](/obrazky/web/5150vero_uv.jpg)
Vero
Vero - rodina ultravýkonných AFM s interferometrickým odměřováním posuvu hrotu
![Diferenciální laserový interferometr SP-DI](/obrazky/web/2097diferencialni-laserovy-interferometr-sp-di_uv.jpg)
Diferenciální laserový interferometr SP-DI
Systém pro diferenční měření délky a úhlu s nejvyšší stabilitou.
![Dvoupaprskový interferometr](/obrazky/web/4597dvoupaprskovy-laserovy-interferometr-sp-ds_uv.jpg)
Dvoupaprskový interferometr
Dva paralelní měřící paprsky jsou využívány pro získání údajů o vzdálenosti, rozdílu poloh a úhlu.
![Trojpaprskový laserový interferometr](/obrazky/web/2113trojsvazkovy-interferometr-sp-tr_uv.jpg)
Trojpaprskový laserový interferometr
Trojsvazkový interferometr pro přesné měření až 5 stupňů volnosti.
![Kalibrační interferometr SP 15000 C](/obrazky/web/2104schema-merici-sestavy-pro-urceni-5-stupnu-volnosti_uv.jpg)
Kalibrační interferometr SP 15000 C
Kalibrační interferometr s až 6 stupni volnosti.
![Laserový vibrometr](/obrazky/web/2072laserovy-vibrometr-lsv-ng_uv.jpg)
Laserový vibrometr
Extrémně přesný laserový interferometr pro měření vibračních spekter se snadnou justáží a ovládáním.
![Měřidlo s dotykovou sondou](/obrazky/web/2116dvousondova-konfigurace-pro-mereni-tloustky-materialu_uv.jpg)
Měřidlo s dotykovou sondou
Kontaktní sonda s interferometrickým odměřováním pro určování tloušťky materiálu.
![Jupiter XR - velkoformátové AFM](/obrazky/web/2181large-sample-afm-mikroskop-jupiter-xr_uv.jpg)
Jupiter XR
Jupiter XR pro AFM mikroskopii velkých vzorků bez kompromisů v rozlišení a rychlosti měření
![Cypher - Ultravýkonné AFM](/obrazky/web/2409afm-cypher-vrs_uv.jpg)
Cypher Family
Cypher - rodina ultravýkonných AFM mikroskopů pro měření bez kompromisů.
![MFP-3D - AFM mikroskopy (nejen) pro bioaplikace](/obrazky/web/3739mfp-3d-bio_uv.jpg)
MFP-3D family
MFP-3D rodina výkonných AFM mikroskopů (nejen) pro bioaplikace a materiálový výzkum.
![Compass 2](/obrazky/web/3796compass-2-od-zygo_uv.jpg)
Compass 2
Compass 2 pro komplexní, plně automatizovanou metrologii povrchu čoček a mikro-čoček.
![Nanopolohovací platforma NPP-1](/obrazky/web/3814platforma-npp-1-od-sios-messtechnik_uv.jpg)
Nanopolohovací platforma NPP-1
Planární polohovací platforma pro velkoplošné skenování nejen s AFM
![Verifire MST+ pro simultánní testování více povrchů](/obrazky/web/3905verifire-mst-plus_uv.jpg)
Verifire MST+
Verifire MST+ je interferometr pro simultánní testování více povrchů, např. planparalelních tenkých destiček
![Jednopaprskový laserový interferometr](/obrazky/web/2112odmerovaci-interferometr-nove-generace-sp-ng_uv.jpg)
Jednopaprskový laserový interferometr
Jednopaprskový, vysoce přesný interferometr pro odměřování polohy.
![VASE Elipsometr](/obrazky/web/3678vase_uv.jpg)
VASE Elipsometr
Spektroskopický elipsometr se širokým spektrálním rozsahem a nastavitelným úhlem dopadu.
![AFSEM pro korelativní mikroskopii](/obrazky/web/3740afsem-nano_uv.jpg)
AFSEM pro korelativní mikroskopii
AFSEM mikroskop pro korelativní měření AFM / SEM
![Spektroskopický elipsometr M-2000](/obrazky/web/1429spektroskopicky-elipsometr-m2000-ve-variante-s-automatizovanym-nastavenim-uhlu_uv.jpg)
Spektroskopický elipsometr M-2000
Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření
![MicroWriter ML3](/obrazky/web/3294opticky-litograf-microwriter-ml3-pro_uv.jpg)
MicroWriter ML3
Laserový litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením
![Spektroskopický elipsometr RC2](/obrazky/web/1420sestava-rc2-elipsometru_uv.jpg)
Spektroskopický elipsometr RC2
Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory
![Vertikální pracovní stanice](/obrazky/web/2165verifire-vts_uv.jpg)
Verifire VTS
Vertikální pracovní stanice pro laserový Fizeau interferometr slouží pro automatizované měření sférické, asférické i free-form optiky
![Optický drsnoměr ZeGage Pro](/obrazky/web/1794zegage-pro-se-dvema-objektivy-v-manualnim-karuselu-a-motorizovanymi-xyz-posuvy_uv.jpg)
Optický drsnoměr ZeGage Pro
Robustní 3D optický drsnoměr s opakovatelností až 0,01 nm
![Zygo objektivy](/obrazky/web/544zygo-objektivy-k-optickym-profilomerum_uv.jpg)
Zygo objektivy
Speciální objektivy Zygo pro WLI optické profiloměry
![Optický profiloměr NewView 9000](/obrazky/web/1562nv9k_uv.jpg)
Optický profiloměr NewView 9000
Bezkontaktní, modulární 3D profiloměr pro přesnou metrologii povrchu
![In situ elipsometr iSE](/obrazky/web/1419sestava-ise-elipsometru-pro-in-situ-charakterizaci_uv.jpg)
In-situ elipsometr iSE
Špičkový spektroskopický elipsometr dedikovaný pro in-situ měření
![Elipsometr alpha 2.0](/obrazky/web/4965novy-elipsometr-alpha-20_uv.jpg)
Elipsometr alpha 2.0
Základní spektroskopický elipsometr s nastavitelnými úhly dopadu.
![Verifire Asphere+](/obrazky/web/3821vfa--od-zygo_uv.jpg)
Verifire Asphere+
Verifire Asphere+ interferometry pro flexibilní a přesnou metrologii asférických povrchů
![Optický profilometr NexView NX2](/obrazky/web/3809opticky-profilomer-zygo-nexview-nx2_uv.jpg)
Optický profilometr NexView NX2
Nejlepší bezkontaktní optický 3D profiloměr a drsnoměr na trhu s opakovatelností RMS až 0,005 nm
![Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem](/obrazky/web/3336rc2-xf---focused_uv.jpg)
Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem
Špičkový spektroskopický elipsometr s mikrofokusací. Měření na bázi dual RCE technologie a CCD detekce.
![Mapovací elipsometr Theta-SE](/obrazky/web/1838rychly-mapovaci-spektroskopicky-elipsometr-theta-se_uv.jpg)
Mapovací elipsometr Theta-SE
Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev
![Richard Schuster](/obrazky/web/richard-schuster.png)